[发明专利]一种真空开关真空度测试校验装置及其检验方法无效
| 申请号： | 200910093157.2 | 申请日： | 2009-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN101672713A | 公开（公告）日： | 2010-03-17 |
| 发明（设计）人： | 邵涛;严萍 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电工研究所 |
| 主分类号： | G01L27/00 | 分类号： | G01L27/00;G01R31/327 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人： | 关 玲;贾玉忠 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种真空开关真空度测试校验装置，包括真空灭弧室(1)、稳压腔室(2)、对比腔室(3)、真空计、真空阀门和真空泵(6)。测试校验时，开启机械泵(10)；当稳压腔室(2)的真空压强达到10-1Pa时，关闭第二隔断阀(9)，开启第一隔断阀(7)、插板阀(5)和分子泵(6)，当第一真空计(4)显示真空灭弧室(1)真空压强小于6.6×-2Pa时，微调插板阀(5)，同时向稳压腔室(2)通入氮气。当稳压腔室(2)和真空灭弧室(1)以及对比腔室(3)的压强平衡时，比对真空开关真空度测试仪(15)测得的真空度和第一真空计(4)显示的真空度，即可校验真空开关真空度测试仪(15)的测量误差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空开关 真空 测试 校验 装置 及其 检验 方法 | ||
【主权项】：
1、一种真空开关真空度测试校验装置，其特征在于所述装置包括真空灭弧室(1)，稳压腔室(2)，对比腔室(3)，第一和二真空计(4、8)，插板阀(5)，第一和二隔断阀(7、9)，分子泵(6)，机械泵(10)和进气阀(11)；真空灭弧室(1)通过管道连接稳压腔室(2)，对比腔室(3)连接第一真空计(4)，对比腔室(3)并通过管道连接稳压腔室(2)，稳压腔室(2)通过插板阀(5)连接分子泵(6)，分子泵(6)通过第一隔断阀(7)连接第二真空计(8)和机械泵(10)，机械泵(10)并通过第二隔断阀(9)连接稳压腔室(2)，稳压腔室(2)并通过进气阀(11)连接氮气气瓶(12)。
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