[发明专利]一种基于超导线圈的强磁场磁控溅射阴极有效
| 申请号： | 200910093159.1 | 申请日： | 2009-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN101719457A | 公开（公告）日： | 2010-06-02 |
| 发明（设计）人： | 邱清泉;肖立业;黄天斌;张国民;李晓航 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电工研究所 |
| 主分类号： | H01J37/34 | 分类号： | H01J37/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 关玲;贾玉忠 |
| 地址： | 100080 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种基于超导线圈的强磁场磁控溅射阴极。由平面靶材(1)、水冷背板(2)超导线圈(3)、外磁轭(4)、内磁轭(5)和底磁轭(6)、杜瓦(7)和阴极电源构成；超导线圈(3)置于在由外磁轭(4)、内磁轭(5)和底磁轭(6)包围的空间内，超导线圈(3)和外磁轭(4)、内磁轭(5)和底磁轭(6)安装在杜瓦(7)中，由液氮循环冷却、液氮加制冷机冷却或制冷机直接冷却。超导线圈(3)根据不同应用场合，可绕制成跑道形或圆形结构，通过电流引线连接到外部直流电源。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 超导 线圈 磁场 磁控溅射 阴极 | ||
【主权项】：
一种基于超导线圈的强磁场磁控溅射阴极，其特征在于：所述阴极由靶材(1)、水冷背板(2)、超导线圈(3)、外磁轭(4)、内磁轭(5)和底磁轭(6)、杜瓦(7)和阴极电源构成；靶材(1)与水冷背板(2)紧密安装在一起；超导线圈(3)置于在由外磁轭(4)、内磁轭(5)和底磁轭(6)包围的空间内，超导线圈(3)和外磁轭(4)、内磁轭(5)和底磁轭(6)安装在杜瓦(7)中，由液氮循环冷却、液氮加制冷机冷却或制冷机直接冷却；杜瓦(7)采用多层绝热结构；超导线圈(3)通过电流引线与磁体供电电源连接。
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