[发明专利]阵列光子筛匀光器及其制作方法无效
| 申请号： | 200910093292.7 | 申请日： | 2009-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN102023388A | 公开（公告）日： | 2011-04-20 |
| 发明（设计）人： | 贾佳;谢长青;刘明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09;G02B5/18;G02B27/42;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种阵列光子筛匀光器，该阵列光子筛匀光器是一种在透明介质上，根据实际需要制造的光子筛的阵列，阵列的大小由实际需要给出。所谓光子筛是在菲涅尔波带环上制作大量分布的具有不同半径的透光微孔的衍射光学元件，是该种阵列型匀光器的基本单元。其余的部分不透光。所谓阵列就是重复这个光子筛的结构。本发明同时公开了一种制作阵列光子筛匀光器的方法。利用本发明，实现了对高斯光束和其它不均匀非平面波前光束的波前平顶化，实现光束的匀光，实现接近平面的波前光束。这种光束在光路系统中有着广泛的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 阵列 光子 筛匀光器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种阵列光子筛匀光器，其特征在于，该阵列光子筛匀光器是一种在透明介质上制造的光子筛阵列，阵列的大小由实际需要给出，阵列的大小选择要能够使得入射的光束完全被阵列所容纳，光子筛是阵列的基本单元。
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