[发明专利]石英晶体监控片无效
申请号: | 200910095269.1 | 申请日: | 2009-01-06 |
公开(公告)号: | CN101475321A | 公开(公告)日: | 2009-07-08 |
发明(设计)人: | 王祖勇 | 申请(专利权)人: | 嘉兴晶控电子有限公司 |
主分类号: | C03C17/36 | 分类号: | C03C17/36;G01B7/06 |
代理公司: | 杭州杭诚专利事务所有限公司 | 代理人: | 王学东 |
地址: | 314009浙江省嘉兴市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及光学镀膜用石英晶体监控片。它包括基底石英晶片、镀在基底石英晶片两面的底融层及镀在底融层上的电极层,在电极层上还镀有一层表融层。由于本发明在传统的金、银电极层上又加镀了一层附着力很强的铬、镍、钛、铝等金属,有效地增加了电极层与沉积膜之间的附着力,进而实现了增加沉积膜厚度的目的。使用本发明能提高镀膜的生产效率,增加石英晶体监控片的使用寿命,有效地降低生产成本。 | ||
搜索关键词: | 石英 晶体 监控 | ||
【主权项】:
1. 一种石英晶体监控片,包括基底石英晶片(1)、镀在所述基底石英晶片(1)两面的底融层(2)及镀在所述底融层(2)上的电极层(3),其特征在于:在所述电极层(3)上还镀有一层表融层(4)。
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