[发明专利]一种破碎镀膜外延硅片表面及边缘的处理方法无效
| 申请号： | 200910095529.5 | 申请日： | 2009-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN101474774A | 公开（公告）日： | 2009-07-08 |
| 发明（设计）人： | 郜勇军;方建和 | 申请（专利权）人： | 郜勇军 |
| 主分类号： | B24C1/04 | 分类号： | B24C1/04;B24B9/06;B24C3/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 杭州天正专利事务所有限公司 | 代理人： | 舒 良 |
| 地址： | 324300浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种破碎镀膜外延硅片表面及边缘的处理方法，采用的设备及用具包括置片箱，喷砂枪，风机，气体压缩机，倒角砂轮及电机；所述置片箱的上部具有开口，且由隔离网分隔为上下层；所述气体压缩机与喷砂枪的气管相连；所述的风机与置片箱相通；使用时，先将破碎镀膜外延硅片分片间隔置于置片箱的隔离网上，把喷砂枪的枪口从置片箱的开口处插入，开启风机和气体压缩机，打开喷砂枪，从喷砂枪的吸管吸入金刚砂，对破碎镀膜外延硅片扫喷，直到把表面镀层完全剥离为止；之后，将倒角砂轮装在电机上打磨硅片边缘镀层直至磨完为止。采用本发明进行破碎镀膜外延硅片表面及边缘的处理，与原来采用酸液腐蚀的化学方法截然不同，生产成本低，且能提高成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 破碎 镀膜 外延 硅片 表面 边缘 处理 方法 | ||
【主权项】：
1、一种破碎镀膜外延硅片表面及边缘的处理方法，采用的设备及用具包括置片箱，喷砂枪，风机，气体压缩机，倒角砂轮及电机；所述置片箱的上部具有开口，且由隔离网分隔为上下层；所述气体压缩机与喷砂枪的气管相连；所述的风机与置片箱相通；其特征在于先将破碎镀膜外延硅片分片间隔置于置片箱的隔离网上，把喷砂枪的枪口从置片箱的开口处插入，开启风机和气体压缩机，打开喷砂枪，从喷砂枪的吸管吸入金刚砂，对破碎镀膜外延硅片扫喷，直到把表面镀层完全剥离为止；之后，将倒角砂轮装在电机上打磨硅片边缘镀层直至磨完为止。
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