[发明专利]一种双层纳米有序结构二氧化钛薄膜及其制备方法无效
| 申请号： | 200910096795.X | 申请日： | 2009-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN101538713A | 公开（公告）日： | 2009-09-23 |
| 发明（设计）人： | 吴进明;宋小梅 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | C23C28/02 | 分类号： | C23C28/02;C25D11/26;H01G9/20;H01G9/042;H01L31/0264 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人： | 韩介梅 |
| 地址： | 310027*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开的双层纳米有序结构二氧化钛薄膜，是由上层准定向排列的单晶金红石相二氧化钛纳米短棒薄膜覆盖于下层定向排列的锐钛矿相纳米管薄膜上构成的双层薄膜。本发明巧妙地利用纳米棒阵列之间的间隙提供离子扩散的通道，避开非均匀形核动力学因素制约，采用内阳极氧化方法先上层后下层成功地制备出由两层纳米有序结构薄膜组成的双层薄膜，成膜质量好，纯度高，且结构可控，对类似纳米有序结构薄膜的制备有借鉴意义。本发明制得的双层纳米有序结构二氧化钛薄膜可望在薄膜太阳能电池、气体传感器、光催化、光电催化等领域获得广泛应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双层 纳米 有序 结构 氧化 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种双层纳米有序结构二氧化钛薄膜，其特征是：由上层准定向排列的单晶金红石相二氧化钛纳米短棒薄膜覆盖于下层定向排列的锐钛矿相纳米管薄膜上构成的双层薄膜，双层薄膜的厚度为500～1000nm，单根二氧化钛纳米短棒的直径为30～100nm，长度为120～250nm；纳米管管径为50～100nm，壁厚8～15nm，长度250～750nm。
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