[发明专利]一种磁驱动增大检测电容的微惯性传感器及其制作方法

摘要

本发明涉及一种磁驱动增大检测电容的微惯性传感器及其制作方法。现有产品限制了传感器振子的质量增加和极板间距的减小。本发明中敏感器质量块为刻蚀有栅形条的矩形硅片，两端通过硅支撑梁与锚点连接，两侧边分别设置硅条，驱动器质量块中间刻有环行槽，其与敏感器质量块对应的一侧设置有检测硅条，在驱动器质量块靠近U形梁的外侧锚点位置上设置有驱动器焊点，驱动器焊点与驱动器锚点连接，驱动器相对的两个锚点上设置有外部电流驱动焊点，并在该对应外部驱动电流焊点间设置有金属驱动导线。玻璃衬底表面设置有叉指铝电极，敏感器质量块的每条栅形条与叉指铝电极中的每对叉指相对应。本发明工艺简单，有利于降低成本和提高成品率。

主权项

1、一种磁驱动增大检测电容的微惯性传感器，包括玻璃衬底、敏感器质量块、驱动器质量块，其特征在于：敏感器质量块主体为矩形硅片，敏感器质量块的两端通过U形敏感器硅支撑梁与敏感器锚点连接，敏感器锚点固定设置在玻璃衬底上；敏感器质量块的两侧边分别对称设置有n组硅条组，每组硅条组包括平行设置的m条硅条，n≥1、m≥1，每组硅条组的硅条的数量相同，每条硅条与敏感器质量块侧边垂直；敏感器质量块上刻蚀有与硅条平行的栅形条；n个驱动器质量块对应n组硅条组设置，对应每个驱动器质量块的四个角的位置设置有驱动器锚点，驱动器锚点固定设置在玻璃衬底上，U形驱动器硅支撑梁的一个端点与驱动器锚点连接、另一个端点与驱动器质量块的一角连接；每个驱动器质量块和敏感器质量块对应的一侧设置有m条检测硅条，检测硅条为梳齿状，齿间为阻尼条；检测硅条与敏感器质量块侧边的硅条平行、位置对应，敏感器质量块连接的硅条与对应的检测硅条交叉设置，组成检测电容；驱动器质量块中间刻有方环形槽，方环行槽的槽宽小于敏感器质量块的硅条和对应检测硅条的间距；每个驱动器质量块对应U形驱动器硅支撑梁的侧边上设置有金属驱动导线，金属导线和驱动器质量块间设置有绝缘层；敏感器质量块的两端的两个敏感器锚点上分别设置有敏感器质量块焊点；每个驱动器质量块设置有金属驱动导线的一边对应的两个驱动器锚点设置有外部电流驱动焊点，U形驱动器硅支撑梁表面设置有金属导线，金属导线的一端与外部电流驱动焊点连接，另一端与金属驱动导线的一端连接；每个驱动器质量块另外两个驱动器锚点中的一个上设置有驱动器焊点，另一个与敏感器质量块另一侧对应的驱动器质量块的驱动器锚点通过铝连接线连接；玻璃衬底表面对应敏感器质量块位置设置有叉指铝电极，敏感器质量块上刻蚀的每条栅形条与叉指铝电极中的每对叉指相对应，叉指铝电极通过铝焊点接入测试信号电压。