[发明专利]嵌入可动电极的微惯性传感器及其制作方法

摘要

本发明涉及一种电磁驱动嵌入可动梳齿和栅形电极的微惯性传感器及其制作方法。本发明包括玻璃衬底、一个可动敏感器质量块、四个固定质量块。可动敏感器质量块边沿向中心对称开有三对通槽，三对通槽将可动敏感器质量块分两个固定部分和中间的两个可动部分。可动部分的两侧对称设置硅条，梳检测硅条与对应的三条可动硅条交叉设置。可动敏感器质量块可动部分的U形槽与栅条之间设置有金属驱动导线，玻璃衬底表面对应可动敏感器质量块设置有叉指铝电极。本发明制作工艺简单，有利于降低成本和提高成品率。

主权项

1、嵌入可动电极的微惯性传感器，包括玻璃衬底、一个可动敏感器质量块、四个固定质量块，其特征在于：可动敏感器质量块为矩形，由可动敏感器质量块的边沿向中心对称开有三对通槽，其中一对通槽位于可动敏感器质量块的中部，另外两对分别位于接近可动敏感器质量块的两个端部的位置，三对通槽将可动敏感器质量块分为四个部分，分别是两端的两个固定部分和中间的两个可动部分；可动敏感器质量块的两个固定部分通过U形硅支撑梁与敏感器锚点连接，每个敏感器锚点上设置有两个焊点；可动敏感器质量块可动部分的两侧对称设置有可动硅条组，每组可动硅条包括平行设置的n条可动硅条，n≥1，可动硅条与可动敏感器质量块侧边垂直；可动敏感器质量块的可动部分刻蚀有与可动硅条平行的栅条；两个可动部分连接处开有工字形槽，沿可动部分与固定部分之间的四个通槽的边沿开有U形槽，相对的两个U形槽通过直线槽连通；四个固定质量块分别对称设置在可动敏感器质量块可动部分的两侧，一个可动部分两侧的两个固定质量块通过设置在玻璃衬底表面上的引线连接；每个固定质量块包括n根平行设置的梳齿状检测硅条，梳齿状检测硅条通过固定梁连接，n根梳齿状检测硅条与对应的n条可动硅条交叉设置；可动敏感器质量块可动部分的U形槽与栅条之间设置有金属驱动导线；金属导线的一端与焊点连接，另一端与金属驱动导线的一端连接；金属导线沿U形硅支撑梁、可动敏感器质量块固定部分的边沿、U形槽的边沿设置，金属导线和可动质量块间设置有绝缘层；玻璃衬底表面对应可动敏感器质量块设置有叉指铝电极，铝电极焊点分别与叉指铝电极连接，可动敏感器质量块上刻蚀的每条栅形条与叉指铝电极中的每对叉指相对应；在玻璃衬底上对应敏感器锚点的位置上设置有金属敏感器焊点，实现敏感器和外部封装的连接。