[发明专利]线性离子束源装置及利用该装置沉积类金刚石碳薄膜的方法无效
| 申请号： | 200910098710.1 | 申请日： | 2009-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN101550541A | 公开（公告）日： | 2009-10-07 |
| 发明（设计）人： | 汪爱英;代伟;孙丽丽;吴国松 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/46 | 分类号： | C23C14/46;C23C14/06 |
| 代理公司： | 宁波诚源专利事务所有限公司 | 代理人： | 袁忠卫 |
| 地址： | 315201浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种线性离子束源装置及利用该装置沉积类金刚石碳薄膜的方法，该装置包括有：阴极(1)，阳极(2)，阴极(1)和阳极(2)之间形成有电离区域(7)，用于将可电离的气体引导进入所述电离区域(7)的气体供应通道(4)，以及用于在所述电离区域(7)产生磁场分布的磁体(3)，其特征在于：阴极(1)上开设有一环形缝隙(13)，从而将阴极(1)分割为处于环形缝隙(13)中间的第一阴极(11)和处于环形缝隙(13)外围的第二阴极(12)，而阳极(2)也呈环形结构，并且阳极(2)置于与阴极(1)的环形缝隙(13)相对应的位置。与现有技术相比，本发明提供的装置能在较大尺寸范围内产生连续均匀的离子束流。本发明提供的方法所制备的薄膜具有硬度高、膜/基结合力好、表面光滑、摩擦系数低、厚度均匀的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 线性 离子束 装置 利用 沉积 金刚石 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
1、一种线性离子束源装置，包括有：阴极(1)，阳极(2)，所述阴极(1)和所述阳极(2)之间形成有电离区域(7)，用于将可电离的气体引导进入所述电离区域(7)的气体供应通道(4)，以及用于在所述电离区域(7)产生磁场分布的磁体(3)，其特征在于：所述阴极(1)上开设有一环形缝隙(13)，从而将阴极(1)分割为处于环形缝隙(13)中间的第一阴极(11)和处于环形缝隙(13)外围的第二阴极(12)，而所述阳极(2)也呈环形结构，并且所述阳极(2)置于与阴极(1)的环形缝隙(13)相对应的位置。
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