[发明专利]改进的直拉单晶炉加热器结构无效
| 申请号： | 200910099829.0 | 申请日： | 2009-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN101580962A | 公开（公告）日： | 2009-11-18 |
| 发明（设计）人： | 曹建伟;张俊;朱亮;邱敏秀 | 申请（专利权）人： | 上虞晶盛机电工程有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 | 代理人： | 唐银益 |
| 地址： | 312364浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及加热器装置，旨在提供一种直拉单晶炉的石墨加热器的改进结构。该加热器包括在轴线方向上布置了交互且均匀开槽的环形石墨加热器，在环形石墨加热器上设置一个减薄加热段，减薄加热段的径向横截面积为加热器其余部位的径向横截面积的2/3～3/4；所述减薄加热段是指从加热器的底部起至总高度的1/5～1/4处的部分。本发明使得加热功率在加热器的减薄处增加，轴向分布得到改变，间接在环形加热器底部形成一个附加的底部加热器功能，从而通过单个石墨加热器的结构设计但能达到原有技术中环形底部加热器加底部底部加热器的两个加热器的效果。不仅减少了设备投入，也降低了石墨加热器的制造成本，简化操作程序。 | ||
| 搜索关键词： | 改进 直拉单晶炉 加热器 结构 | ||
【主权项】：
1、一种改进的直拉单晶炉加热器结构，包括在轴线方向上布置了交互且均匀开槽的环形石墨加热器，其特征在于，在环形石墨加热器上设置一个减薄加热段，减薄加热段的径向横截面积为加热器其余部位的径向横截面积的2/3～3/4；所述减薄加热段是指从加热器的底部起至总高度的1/5～1/4处的部分。
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