[发明专利]以ZnO薄膜为敏感元件的光纤温度测量方法及其光纤温度传感器无效
| 申请号： | 200910100470.4 | 申请日： | 2009-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN101598609A | 公开（公告）日： | 2009-12-09 |
| 发明（设计）人： | 隋成华;刘玉玲;郑东;蔡萍根 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | G01K11/32 | 分类号： | G01K11/32 |
| 代理公司： | 杭州天正专利事务所有限公司 | 代理人： | 王 兵;王利强 |
| 地址： | 310014*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种以ZnO薄膜为敏感元件的光纤温度测量方法，利用电子束蒸发的方法，在蓝宝石光纤端面上生长一层结晶良好的ZnO薄膜，所述的ZnO薄膜作为温度敏感元件，通过检测透射光谱，观察吸收边移动实现温度测量。以及一种光纤温度传感器，所述光纤为蓝宝石光纤，在所述蓝宝石光纤端面上生长一层结晶良好的ZnO薄膜，所述所述的ZnO薄膜作为温度敏感元件。本发明能扩大测温范围、并同时适用于高温和低温测试。 | ||
| 搜索关键词： | zno 薄膜 敏感 元件 光纤 温度 测量方法 及其 温度传感器 | ||
【主权项】：
1、一种以ZnO薄膜为敏感元件的光纤温度测量方法，其特征在于：利用电子束蒸发的方法，在蓝宝石光纤端面上生长一层结晶良好的ZnO薄膜，所述的ZnO薄膜作为温度敏感元件，通过检测透射光谱，观察吸收边移动实现温度测量。
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