[发明专利]高光催化活性的TiO2-ZnO双层复合薄膜的制备方法无效
| 申请号： | 200910100863.5 | 申请日： | 2009-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN101608300A | 公开（公告）日： | 2009-12-23 |
| 发明（设计）人： | 刘岑岑;张溪文;韩高荣 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人： | 韩介梅 |
| 地址： | 310027*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开的高光催化活性的TiO2-ZnO双层复合薄膜的制备方法，首先以TiO2和ZnO靶材，采用射频磁控溅射法在清洗过的载玻片上依次沉积ZnO层和TiO2层，得到TiO2-ZnO双层复合薄膜，然后将TiO2-ZnO双层复合薄膜放入介质阻挡放电装置反应室中，反应室抽真空，通入Ar、N2或H2气体，在室温下利用等离子体轰击双层复合薄膜表面。本发明制备工艺简单，制得的TiO2-ZnO复合薄膜具有高光催化活性，良好稳定性及耐腐蚀性，可重复利用率高。 | ||
| 搜索关键词： | 光催化 活性 tio sub zno 双层 复合 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.高光催化活性的TiO2-ZnO双层复合薄膜的制备方法，该制备方法包括：以TiO2和ZnO靶材，采用射频磁控溅射法在清洗过的载玻片上依次沉积ZnO层和TiO2层，得到TiO2-ZnO双层复合薄膜，其特征在于将得到的TiO2-ZnO双层复合薄膜放入介质阻挡放电装置反应室中，反应室抽真空至少至0.8Pa，通入Ar、N2或H2气体，调节气体流量100sccm～500sccm，调节反应室中两极板的距离为5mm，电压为100V，在室温下利用等离子体轰击双层复合薄膜表面1-2h。
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