[发明专利]基于可编程微镜阵列的可见-近红外光谱探测方法及光谱仪

摘要

一种基于可编程微镜阵列的可见-近红外光谱探测方法，包括光源、样品池、色散元件，成像装置、可编程微镜阵列、单点可见光探测器和单点近红外探测器；光源发出的光经样品池入射到色散元件上，色散后的各波长光经成像透镜后平行入射到可编程微镜阵列上，可见光波段和近红外波段分别对应于微镜阵列的可见光微镜阵列单元和近红外光微镜阵列单元，通过施加驱动电压对可见光和近红外光阵列单元同时进行调制，使可见光按时间次序进入见光探测器，同时近红外光按时间次序进入红外光探测器，即得到物质的可见光和近红外光的光谱信息。本仪器具有价格低廉、体积小、响应速度快、便携使用、可同时实现可见光波段和近红外波段探测等优点。

主权项

1、基于可编程微镜阵列的可见-近红外光谱探测方法，其特征在于：将光源发出的光，先经过装有待测样品的样品池，再使其入射到一个双闪耀角反射光栅上，不同波长的光在空间上被色散开，使空间分开的各色波长的光再经成像透镜后入射到可编程微镜阵列上；在可编程微镜阵列两边分别设置一个单点可见光探测器和一个单点近红外探测器以及相应的汇聚透镜，通过对可编程微镜阵列上对应可见光波段的像素按时间顺序依次施加正向电压，使该光谱区域对应的像素依次向左偏转，将不同波长的可见光依次反射到单点可见光探测器上，读取一个扫描时间周期内探测器上的光强数值就可以获得被测物质的可见光光谱；同时，对可编程微镜阵列上对应近红外波段的像素按时间顺序依次施加反向电压，使该光谱区域对应的像素依次向右偏转，将不同波长的近红外光依次反射到单点近红外探测器上，读取一个扫描时间周期内探测器上的光强数值就可以获得被测物质的近红外光谱；若将上述在可见光区域与近红外区域的操作同时进行就可以同时获得被检测物质的可见光光谱和近红外光谱。