[发明专利]1550纳米波段的亚波长金属偏振分束光栅无效
| 申请号： | 200910103542.0 | 申请日： | 2009-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN101515045A | 公开（公告）日： | 2009-08-26 |
| 发明（设计）人： | 赵华君;袁代蓉 | 申请（专利权）人： | 重庆文理学院 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G02B27/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 402160重庆*** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | 一种用于1550纳米波段的亚波长金属偏振分束光栅，其特征在于该光栅的周期小于200纳米、槽深为230纳米-410纳米，光栅的占宽比为0.3。该偏振分束光栅只存在0级衍射，消光比大于20dB，TE偏振光的反射衍射率和TM偏振光的透射衍射率均高于96％。特别是光栅周期为150纳米、槽深为323纳米时，光栅透射衍射消光比与反射衍射消光比分别达到67dB和23dB，TE偏振光的反射衍射率和TM偏振光的透射衍射率分别达到96.47％和97.04％。本发明的亚波长金属偏振分束光栅由纳米压印、反应离子辅助刻蚀及物理溅射工艺加工而成，可大批量、低成本生产，制作的光栅偏振分束特性好，性能稳定可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 1550 纳米 波段 波长 金属 偏振 光栅 | ||
【主权项】：
1、一种用于1550纳米波段的亚波长金属偏振分束光栅，其特征在于该光栅的周期小于200纳米，槽深为230纳米-410纳米，占宽比为0.3。
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