[发明专利]电介质薄膜、薄膜电容器及其制作方法无效
| 申请号： | 200910106869.3 | 申请日： | 2009-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN101872680A | 公开（公告）日： | 2010-10-27 |
| 发明（设计）人： | 于淑会;孙蓉;范艳华;李磊;万里兮;杜如虚;尹衍升 | 申请（专利权）人： | 深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | H01G4/12 | 分类号： | H01G4/12;H01G4/33;H01B3/12;C04B35/468;C04B35/47 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 曾旻辉 |
| 地址： | 518067 广东省深圳市南山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有高介电常数、低损耗和低的漏电流的电介质薄膜及薄膜电容器，以及薄膜电容器的制备方法，属于电子材料及元器件的技术领域。电介质薄膜的化学式为Ba1-x-ySryMnxTiO3，其中0≤y＜1，0＜x≤0.05。薄膜的介电常数≥400，介电损耗≤0.02。本发明公开的电容器以上述薄膜作为电介质，以粗糙度小于20nm的金属箔作为底电极。本发明公开的制备薄膜电容器的方法，包括将铜箔抛光、制备薄膜前驱体、涂膜、在温度区间400～600℃进行预退火以及在700～900℃温度区间进行最后退火等步骤。其中预退火和最后退火氧分压均维持在10-60～10-20atm之间。 | ||
| 搜索关键词： | 电介质 薄膜 电容器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种电介质薄膜，其特征在于：薄膜组分为Ba1-x-ySryMnxTiO3，其中0≤y＜1，0＜x≤0.05。
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