[发明专利]支撑销有效
申请号: | 200910111097.2 | 申请日: | 2009-02-20 |
公开(公告)号: | CN101492251A | 公开(公告)日: | 2009-07-29 |
发明(设计)人: | 湛仁宗 | 申请(专利权)人: | 福建华映显示科技有限公司;中华映管股份有限公司 |
主分类号: | C03C15/00 | 分类号: | C03C15/00;G02F1/1333 |
代理公司: | 厦门市新华专利商标代理有限公司 | 代理人: | 翁素华 |
地址: | 350015福建*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明提供一种应用于干蚀刻装置的支撑销,包括一固锁座、一本体,以及一支臂,该支臂以可拆卸的方式固定在固锁座的顶端,该本体以可拆卸的方式固定在支臂的顶端。本发明支撑销的优点在于:由于本发明支撑销的三件式可拆卸组装的设计,减少了需要更替部份的体积,不但降低该支撑销耗材成本,也较易于进行拆除、更换等维修工作,进而有效解决目前干蚀刻机台中耗材更换所造成的不必要的成本消耗。 | ||
搜索关键词: | 支撑 | ||
【主权项】:
1.一种支撑销,包括一固锁座以及一本体,其特征在于:还包括一支臂,该支臂以可拆卸的方式固定在固锁座的顶端,该本体以可拆卸的方式固定在支臂的顶端。
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