[发明专利]一种延长单晶炉真空泵寿命的方法无效
| 申请号： | 200910111783.X | 申请日： | 2009-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN101709503A | 公开（公告）日： | 2010-05-19 |
| 发明（设计）人： | 南毅;马殿军;张伟娜;郑智雄;林霞;胡满根 | 申请（专利权）人： | 南安市三晶阳光电力有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 张松亭 |
| 地址： | 362000 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种延长单晶炉真空泵寿命的方法。本发明的方法是在真空泵和炉室之间的真空抽气管道上安置一个油过滤器，过滤掉气流从炉室中携带出的各种杂质。当气流携带各种杂质从炉室离开进入真空泵之前，先经油过滤器将杂质过滤，就不会危害到真空泵油，也就相应提高了真空泵的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 延长 单晶炉 真空泵 寿命 方法 | ||
【主权项】：
一种延长单晶炉真空泵寿命的方法，其特征在于：在真空泵和炉室之间的真空抽气管道上安装油过滤器，从炉室中排出的携带各种杂质的气流经该油过滤器过滤杂质后，再进入真空泵。
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