[发明专利]一种延长单晶炉真空泵寿命的装置无效
| 申请号： | 200910111784.4 | 申请日： | 2009-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN101709504A | 公开（公告）日： | 2010-05-19 |
| 发明（设计）人： | 马殿军;南毅;张伟娜;郑智雄;林霞;胡满根 | 申请（专利权）人： | 南安市三晶阳光电力有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 张松亭 |
| 地址： | 362000 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种延长单晶炉真空泵寿命的装置。该装置包括一过滤器腔体，一位于腔体顶部的过滤器盖，一位于过滤器中央的进气管道，一位于过滤器腔体侧面的排气管道，其特征在于：所述的过滤器腔体内底部有一有机硅油层，有机硅油层上方有一滤网，所述的进气管道出口位于所述的有机硅油层与滤网之间。当气流携带各种杂质从炉室离开进入真空泵之前，先经油过滤器将杂质过滤，就不会危害到真空泵油，也就相应提高了真空泵的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 延长 单晶炉 真空泵 寿命 装置 | ||
【主权项】：
一种延长单晶炉真空泵寿命的装置，包括一过滤器腔体，一位于腔体顶部的过滤器盖，一位于过滤器中央的进气管道，一位于过滤器腔体侧面的排气管道，其特征在于：所述的过滤器腔体内底部有一有机硅油层，有机硅油层上方有一滤网，所述的进气管道出口位于所述的有机硅油层与滤网之间。
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