[发明专利]等离子体电流硬件补偿装置无效
| 申请号： | 200910116117.5 | 申请日： | 2009-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN101488372A | 公开（公告）日： | 2009-07-22 |
| 发明（设计）人： | 杜晓英;季振山;沈飙;王勇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院等离子体物理研究所 |
| 主分类号： | G21B1/11 | 分类号： | G21B1/11;H05H1/24 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 230031安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种等离子体电流硬件补偿装置，其特征在于：等离子体电流信号IP和12个线圈电流数据信号输入到13路比例放大电路输入端，13路比例放大电路的输出端连接到加减法器的输入端，加减法器的输出端分成三路，分别通过三个隔离输出电路连接到PCS(Plasma control system)等离子体控制系统、数据采集系统、保护系统。本发明提供的等离子体电流硬件补偿装置，其有益效果体现在方案简单、灵活、成本低、易于实施、响应速度快(us量级)，系统可靠性高。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 电流 硬件 补偿 装置 | ||
【主权项】：
1、等离子体电流硬件补偿装置，其特征在于：等离子体电流信号IP和12个线圈电流数据信号输入到13路比例放大电路输入端，13路比例放大电路的输出端连接到加减法器的输入端，加减法器的输出端分成三路，分别通过三个隔离输出电路连接到PCS(Plasma control system)等离子体控制系统、数据采集系统、保护系统。
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