[发明专利]一种基于SOI技术的双轴加速度计

摘要

本发明涉及一种基于SOI技术的梳齿电容式双轴加速度计，包括有绝缘衬底，衬底上有敏感质量块，所述敏感质量块四周分别有通过SOI硅片中间的氧化层固定在绝缘衬底上的固定梳齿，所述敏感质量块的每个周边与对应的固定梳齿之间还有可动梳齿，所述敏感质量块的四个边角处还分别连接有四个支撑架，所述四个支撑架在敏感质量块四周呈中心对称分布，其另一端连接至锚区。本发明体积小，重量轻，可实现高灵敏度、高分辨率的二维加速度测量。

主权项

基于SOI工艺的梳齿电容式双轴加速度计，其特征在于：包括有绝缘体衬底，衬底上有形状为中心对称的敏感质量块，所述敏感质量块的四个周边上分别分布着固定梳齿，所述固定梳齿与敏感质量块的对应周边平行，彼此沿中心对称，所述敏感质量块的每个周边与对应的固定梳齿之间还有多组可动梳齿，所述每个可动梳齿与对应的敏感质量块周边平行，并且沿着垂直于敏感质量块边线的方向连接在敏感质量块上；所述敏感质量块的四个边角处还分别连接有四个支撑架，所述四个支撑架在敏感质量块的四周呈中心对称分布，其另一端连接至锚区。