[发明专利]双折射测定装置和方法、以及薄膜生产系统和方法无效
| 申请号： | 200910119364.0 | 申请日： | 2009-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN101545853A | 公开（公告）日： | 2009-09-30 |
| 发明（设计）人： | 重田文吾;池端康介;稻村隆宏 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/23 | 分类号： | G01N21/23;G01N21/35;G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 何立波;张天舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种双折射测定装置和方法、以及薄膜生产系统和方法。在制造工序中准确地测定薄膜的双折射特性，并向工序条件进行反馈。含水率测定部(81)测定试样(16)的含水率，厚度测定部(82)测定试样(16)的厚度，第1偏振特性测定部(11)以及第2偏振特性测定部(17)测定试样(16)的双折射特性。轴/延迟量计算单元(61)根据第1偏振特性测定部(11)以及第2偏振特性测定部(17)的测定结果，计算试样(16)的延迟量。另外，根据由厚度测定部(82)测定出的厚度值，对由含水率测定部(81)测定出的含水率进行标准化，使用预先求出的含水率与延迟量的关系式，对计算出的延迟量进行校正。基于计算出的延迟量，向工序条件进行反馈。 | ||
| 搜索关键词： | 双折射 测定 装置 方法 以及 薄膜 生产 系统 | ||
【主权项】：
1. 一种双折射测定装置，其特征在于，具有：延迟量测定单元，其将光入射至被测定试样而测定所述被测定试样的延迟量；含水率测定单元，其测定所述被测定试样的含水率；以及校正单元，其基于所述测定出的含水率，对所述测定出的延迟量进行校正。
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