[发明专利]一种半导体元件结构有效
| 申请号： | 200910126039.7 | 申请日： | 2009-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN101728361A | 公开（公告）日： | 2010-06-09 |
| 发明（设计）人： | 蔡世昌;苏心芳;李俊鸿 | 申请（专利权）人： | 旺宏电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/528 | 分类号： | H01L23/528;H01L27/115 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是有关于一种半导体元件结构，其包含一基板及一图案化层。该图案化层经图案化而具有设置在基板上的开放区及密集区。该图案化层包含在密集区中的一第一图案，邻接于该开放区，及一第二图案。该第一图案具有一第一底部宽度。第二图案具有第二底部宽度。该第一图案的底部包含一面对该开放区的凹处，使得第一底部宽度是接近该第二底部宽度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 元件 结构 | ||
【主权项】：
1.一种半导体元件结构，其特征在于其包含：一基板；以及一图案化层，经图案化而具有设置在该基板上的开放区及密集区，该密集区包含一第一图案，其邻接于该开放区，及一第二图案，其中，该第一图案具有一第一底部宽度，第二图案具有一第二底部宽度，该第一图案的底部包含一面对该开放区的凹处，该第一底部宽度与该第二底部宽度满足以下条件：![]()
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