[发明专利]感放射线性树脂组合物

摘要

本发明提供一种感放射线性树脂组合物，该树脂组合物在使用如KrF准分子激光、ArF准分子激光等远紫外线之类的各种放射线的微细加工中可以用作为化学增幅型抗蚀剂。本发明的感放射线性树脂组合物含有〔A〕含有由通式(I-1)表示的重复单元(1-1)、以及、由通式(I-2)表示的重复单元(1-2)或由通式(I-5)表示的重复单元(1-5)，为碱难溶性或不溶性的、通过酸的作用而变成碱易溶性的树脂、以及〔B〕感放射线性酸发生剂；其中，上述树脂中没有内酯环，在构成上述树脂的总重复单元的合计量为100摩尔％的情况下，上述重复单元(1-1)的含有比例为40～90摩尔％。

主权项

1.一种感放射线性树脂组合物，其特征在于，含有〔A〕含有由下述通式(I-1)表示的重复单元(1-1)、以及、由下述通式(I-2)表示的重复单元(1-2)或由下述通式(I-5)表示的重复单元(1-5)，为碱难溶性或不溶性的、通过酸的作用而变成碱易溶性的树脂、以及〔B〕感放射线性酸发生剂：其中，上述树脂中没有内酯环，在构成上述树脂的总重复单元的合计量为100摩尔％的情况下，上述重复单元(1-1)的含有比例为40～90摩尔％；式中，R_1a表示氢原子、甲基、碳原子数1～4的羟烷基、或者碳原子数1～4的全氟烷基，X₁表示氢原子、氟原子、碳原子数1～4的烷基、或者碳数1～4的氟代烷基，X₂表示氟原子或者碳原子数1～4的氟代烷基，1表示1，n表示0或1；式中，R_1b表示氢原子或甲基；-C(R_1c)₃表示下式(6-1)～(6-8)中的任一个：在式(6-3)、(6-4)、(6-7)以及(6-8)中，n表示0～2的整数，R₆表示碳原子数1～4的直链状或支链状的烷基；式中，R_1b表示氢原子或甲基。