[发明专利]感射线性树脂组合物以及层间绝缘膜和微透镜的制造方法有效
| 申请号： | 200910127063.2 | 申请日： | 2009-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN101546127A | 公开（公告）日： | 2009-09-30 |
| 发明（设计）人： | 大沼友希;花村政晓;滨田谦一;饭岛孝浩 | 申请（专利权）人： | JSR株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/075 | 分类号： | G03F7/075;G03F7/00;G02B3/00 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种感射线性树脂组合物以及层间绝缘膜和微透镜的制造方法。该感射线性树脂组合物具有高的感射线敏感度和优良的显影裕度，并且能够容易地形成与底层的粘附性也优良的图案状薄膜，适用于形成层间绝缘膜和微透镜。上述感射线性树脂组合物包括：含有由不饱和羧酸和不饱和羧酸酐构成的群组中选出的至少一种和由具有环氧乙基的不饱和化合物和具有氧杂环丁烷基的不饱和化合物构成的群组中选出的至少一种的不饱和混合物的共聚物、1，2-醌二叠氮化合物、以及具有碳原子数为6～15的芳基的倍半硅氧烷。 | ||
| 搜索关键词： | 射线 树脂 组合 以及 绝缘 透镜 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种感射线性树脂组合物，其特征在于包括：[A]含有(a1)由不饱和羧酸和不饱和羧酸酐构成的群组中选出的至少一种和(a2)由具有环氧乙基的不饱和化合物和具有氧杂环丁烷基的不饱和化合物构成的群组中选出的至少一种的不饱和混合物的共聚物，[B]1，2-醌二叠氮化合物，以及[C]具有碳原子数为6～15的芳基的倍半硅氧烷。
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