[发明专利]半导体装置、电光装置及电子设备

摘要

本发明提供了半导体装置、电光装置及电子设备，即使在树脂层等的柔性层上形成时可靠性也优异。本发明的在树脂层(S)上形成的半导体装置，包含多个底栅型薄膜晶体管，该半导体装置至少具有构成该底栅型薄膜晶体管的半导体层(17)、第一布线(GL1，GL2)、第二布线(SL)、第一绝缘层(15)以及栅极绝缘膜(19)，在该半导体层和该第一布线和第二布线的下部，存在该第一绝缘层和该栅极绝缘膜，在未形成该半导体层和该第一布线和第二布线的处所，该第一绝缘层和该栅极绝缘膜的一部分被去除。由于该第一绝缘层和该栅极绝缘膜的一部分被去除，因此，即使在半导体装置施加了机械或热应力的情况下，也使该应力缓和，可以降低第一绝缘层等中裂纹的发生。

主权项

1. 一种半导体装置，其在树脂层上形成，其特征在于，上述半导体装置包含多个底栅型薄膜晶体管，上述半导体装置至少具有构成上述底栅型薄膜晶体管的半导体层、第一布线、第二布线、第一绝缘层以及栅极绝缘膜，在上述半导体层、上述第一布线以及第二布线的下部，存在上述第一绝缘层和上述栅极绝缘膜，在未形成上述半导体层、上述第一布线以及第二布线的处所，上述第一绝缘层和上述栅极绝缘膜的一部分被去除。