[发明专利]多结晶硅反应炉有效
| 申请号： | 200910127656.9 | 申请日： | 2009-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN101538042A | 公开（公告）日： | 2009-09-23 |
| 发明（设计）人： | 远藤俊秀;手计昌之;石井敏由记;坂口昌晃 | 申请（专利权）人： | 三菱麻铁里亚尔株式会社 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035;C30B29/06;C30B28/14 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 杨 楷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种能够防止在保持硅芯棒的电极表面析出的多结晶硅剥落的多结晶硅反应炉。本发明的多结晶硅反应炉对设置在炉内的硅芯棒(4)进行通电加热，使供给到炉内的原料气体反应，从而在上述硅芯棒(4)表面上析出多结晶硅，其中，该多结晶硅反应炉具备：在炉的底板部(炉底)(2)上相对于该底板部(2)设置为电绝缘状态的电极夹(10)；和与该电极夹(10)连结并朝上方保持硅芯棒(4)的芯棒保持电极(15)，在芯棒保持电极(15)的外周面上设置有暴露在炉内环境中的凹凸部(外螺纹部)(15B)。 | ||
| 搜索关键词： | 结晶 反应炉 | ||
【主权项】：
1.一种多结晶硅反应炉，对设置在炉内的硅芯棒进行通电加热，使供给到炉内的原料气体反应，从而在上述硅芯棒表面上析出多结晶硅，其特征在于，包括：在炉的底板部相对于该底板部设置为电绝缘状态的电极夹；和与该电极夹连结并朝上方保持上述硅芯棒的芯棒保持电极，在上述芯棒保持电极的外周面上设置有暴露在炉内环境中的凹凸部。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三菱麻铁里亚尔株式会社，未经三菱麻铁里亚尔株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200910127656.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：电解处理装置和电解处理方法
- 下一篇：微细孔基板及其制造方法
