[发明专利]集成电路结构有效
申请号: | 200910128887.1 | 申请日: | 2009-03-23 |
公开(公告)号: | CN101546785A | 公开(公告)日: | 2009-09-30 |
发明(设计)人: | 蒋柏煜;蔡俊琳;姚智文;何大椿 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/872 | 分类号: | H01L29/872;H01L29/06;H01L29/36 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人: | 姜 燕;陈 晨 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明揭示一种集成电路结构,该结构包括:一半导体基底;一阱区,位于半导体基底上方,具有一第一导电型;一含金属层,位于阱区上方,其中含金属层与阱区构成一肖特基势垒(Schottky barrier);一隔离区,围绕含金属层;以及一深阱区,位于含金属层下方,具有相反于第一导电型的一第二导电型。深阱区至少有一部分与一部分的含金属层呈垂直重叠。深阱区经由阱区而与隔离区及含金属层呈垂直隔开。本发明可以改进击穿电压、降低漏电流,以及可调整击穿电压。 | ||
搜索关键词: | 集成电路 结构 | ||
【主权项】:
1. 一种集成电路结构,包括:一半导体基底;一阱区,位于该半导体基底上方,具有一第一导电型;一含金属层,位于该阱区上方,其中该含金属层与该阱区构成一肖特基势垒;一隔离区,围绕该含金属层;以及一深阱区,位于该含金属层下方,具有相反于该第一导电型的一第二导电型,其中该深阱区至少有一部分与一部分的该含金属层呈垂直重叠,且其中该深阱区经由该阱区而与该隔离区及该含金属层呈垂直隔开。
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