[发明专利]液体喷射头、液体喷射装置、以及执行器无效
| 申请号： | 200910129560.6 | 申请日： | 2009-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN101544116A | 公开（公告）日： | 2009-09-30 |
| 发明（设计）人： | 岛田胜人 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/14 | 分类号： | B41J2/14 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 柳春雷;南 霆 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种提高了压电元件的变位特性而能够确保足够的变位量并能够抑制压电体层的破坏而提高了耐久性的液体喷射头、液体喷射装置以及执行器。压电体层(70)的端面由以下电极侧的端部比上电极侧的端部更靠外侧的方式倾斜的倾斜面构成，构成各个压电元件的下电极以比压力产生室的宽度窄的宽度形成，并且压电体层以比下电极的宽度宽的宽度形成，下电极的端面被压电体层覆盖，振动板的最表层由绝缘体膜构成，该绝缘体膜由氧化钛(TiOx)形成，下电极的最表层由取向控制层构成，该取向控制层由镍酸镧(LaNiyOx)形成，并且取向控制层和至少取向控制层上的压电体层由钙钛矿结构的结晶形成，并且晶面方向沿(110)优先取向。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 喷射 装置 以及 执行 | ||
【主权项】：
1. 一种液体喷射头，包括流路形成基板和压电元件，所述流路形成基板并列设置有多个分别与喷射液滴的喷嘴连通的压力产生室，所述压电元件包括间隔着振动板而设置在所述流路形成基板的一个面侧的下电极、压电体层、上电极，所述压电体层的端面由倾斜面构成，该倾斜面以其下电极侧的端部比上电极侧的端部更靠外侧的方式倾斜，构成各个压电元件的所述下电极以比所述压力产生室的宽度窄的宽度形成，并且所述压电体层以比所述下电极的宽度宽的宽度形成，所述下电极的端面被所述压电体层覆盖，所述振动板的最表层由绝缘体膜构成，所述绝缘体膜由氧化钛形成，所述下电极的最表层由取向控制层构成，所述取向控制层由镍酸镧形成，并且，所述取向控制层和至少该取向控制层上的所述压电体层由钙钛矿结构的结晶形成，并且晶面方向沿(110)优先取向。
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