[发明专利]一种多弧离子镀设备上能够实现公自转和自转的工装

摘要

本发明涉及一种多弧离子镀设备上能够实现公自转和自转的工装。本发明通过工装结构上下表面与主轴的配合，实现工装公自转和仅自转两种旋转模式。当工装结构的大齿轮与主轴固定时，主轴带动大齿轮旋转，大齿轮又带动小齿轮旋转，小齿轮又带动相应的双用工位轴旋转，从而实现工装的自转旋转模式。当工装结构的大盘与主轴固定时，大齿轮被定位销固定住，轴带动大盘旋转，大盘又带动小齿轮旋转，小齿轮又带动相应的双用工位轴旋转，从而实现工装的公自转旋转模式。满足进行大批工件沉积及单靶新型涂层的沉积。本发明方法简单易行，安装方便，专业组技术人员已经完全掌握了该工装的制备，能很好满足离子镀设备对工装公自转及仅自转旋转模式的要求。

主权项

1.一种多弧离子镀设备上能够实现公自转和自转的工装，包括大齿轮(17)、大盘(3)、小齿轮(9)、小轴承(10)、小轴承套(11)，其特征是，工装的小齿轮结构是由双用工位轴(7)、小轴承(10)、轴承盖(12)、夹圈(8)、键(6)、小齿轮(9)、轴承盖(12)、小轴承套(11)、螺栓(24)组成，大盘(3)的盘面上均匀开有安装双用工位轴(7)的工位孔，双用工位轴(7)置于工位孔中，小齿轮(9)和双用工位轴(7)通过小轴承(10)连结，小齿轮(9)通过键(6)与双用工位轴(7)固定，夹圈(8)将小齿轮(9)固定在双用工位轴(7)上，双用工位轴(7)用轴承盖(12)固定在大盘(3)上，双用工位轴(7)通过螺栓(24)与小轴承套(11)固定；大盘(3)和大齿轮(17)的中心孔套接在主轴(1)上，主轴(1)上开有键槽，大盘(3)和大齿轮(17)的中心孔上开有与主轴(1)上键槽相对应的键槽，公位键(2)将大盘(3)或大齿轮(17)与主轴(1)固定，大盘(3)一侧端面的中心设有轴外套(25)，轴外套(25)与大齿轮(17)一侧的端面的中心设有轴内套(26)之间安装两个轴承(13)，两个轴承(13)之间设有挡圈(14)，保险圈(16)的内槽置于大盘(3)的轴外套(25)的边角上，保险圈(16)通过紧固螺栓(15)将大齿轮(17)紧固在大盘(3)上，小齿轮(9)与大齿轮(17)啮合；大盘(3)和大齿轮(17)上均对称开有定位孔(4)和(27)，工装与主轴轴套(20)的连接为如下形式之一：(一)大齿轮(17)的定位孔(27)与主轴轴套(20)上的定位销(18)固定；(二)大盘(3)的定位孔(4)与主轴轴套(20)上的定位销(18)固定。