[发明专利]固态成像装置及其制造方法

摘要

通过提高构成波导的光透射材料的嵌入性，提高了光会聚效率，并且确保了固态成像装置的可靠性。一种固态成像装置，包括：光接收单元(1)，用于接收光以进行光电转换；波导(20)，形成在绝缘膜5中并且由透明材料组成，其中绝缘膜5覆盖设置有光接收单元(1)的衬底，所述波导(20)构建来将入射光从外界导向光接收单元(1)；其中，对波导(20)设置有前向楔形部分，在在该前向楔形部分中从入射光方向看，平面形状的大小从光入射一侧的表面向光接收单元减小。

主权项

1.一种固态成像装置，包括：多个光接收部分，所述多个光接收部分设置在衬底中，并响应于入射光产生电荷；平化层，覆盖设置在所述衬底上的预定元件以进行平化；设置在所述平化层之上的多条信号线；和将入射光导向每个所述光接收部分的波导，所述波导穿过所述多条信号线之间的空间。