[发明专利]液体喷射头、液体喷射装置以及执行器

摘要

提供一种提高压电元件的移位特性并能够抑制压电体层遭破坏的液体喷射头、液体喷射装置以及执行器。压电体层(70)的端面由向其外侧倾斜的倾斜面构成，构成各压电元件(300)的下电极(60)以比压力产生室(12)的宽度窄的宽度形成，压电体层(70)以比下电极(60)的宽度宽的宽度形成，下电极(60)的端面被压电体层(70)覆盖，振动板(50)的最表层由用氧化钛形成的绝缘体膜(52)构成，下电极的最表层由用镍酸镧形成的取向控制层(62)构成，并且取向控制层(62)和至少取向控制层(62)上的压电体层(70a)由钙钛矿结构的结晶形成，而且晶面方向沿(111)优先取向。

主权项

1. 一种液体喷射头，包括流路形成基板和压电元件，在所述流路形成基板上并列设置有分别与喷射液滴的喷嘴连通的多个压力产生室，所述压电元件包括经由振动板而设置在所述流路形成基板的一个面侧的下电极、压电体层以及上电极，所述压电体层的端面由向其外侧倾斜的倾斜面构成，构成各压电元件的所述下电极以比所述压力产生室的宽度窄的宽度形成，并且所述压电体层以比所述下电极的宽度宽的宽度形成，从而所述下电极的端面被所述压电体层覆盖，所述振动板的最表层由绝缘体膜构成，所述绝缘体膜由氧化钛(TiOx)形成，所述下电极的最表层由取向控制层构成，所述取向控制层由镍酸镧(LaNiyOx)形成，并且，所述取向控制层和至少该取向控制层上的所述压电体层由钙钛矿结构的结晶形成，而且晶面方向沿(111)优先取向。