[发明专利]负性抗蚀剂组合物有效
申请号: | 200910132688.8 | 申请日: | 2009-04-07 |
公开(公告)号: | CN101556434A | 公开(公告)日: | 2009-10-14 |
发明(设计)人: | 文奉锡;金孝精;金珍坤;梁毕礼;全智贤;李东焕;李休智;郑乐七;金先镐 | 申请(专利权)人: | 三养EMS株式会社 |
主分类号: | G03F7/038 | 分类号: | G03F7/038 |
代理公司: | 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人: | 周建秋;王凤桐 |
地址: | 韩国忠*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明涉及一种用于液晶显示器的负性抗蚀剂组合物,该负性抗蚀剂组合物含有具有特定结构的粘合剂树脂、多官能的(甲基)丙烯酰单体、光敏引发剂以及有机溶剂。所述负性抗蚀剂组合物具有良好的UV透射率、膜残留率和图案稳定性以及优异的耐热性和抗吸湿性。因此,所述负性抗蚀剂组合物可以用来为液晶显示器等的有机绝缘膜、红绿蓝彩色滤光片、黑矩阵、隔垫物或UV保护层形成图案。 | ||
搜索关键词: | 负性抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】:
1、一种负性抗蚀剂组合物,该组合物含有:用下式1表示的粘合剂树脂;多官能的(甲基)丙烯酰单体;光敏引发剂;以及有机溶剂:式1其中,A为由被碳原子数为3-10的环氧基取代的(甲基)丙烯酸酯单体所形成的重复单元,并且其中,B为由用下式2表示的马来酰胺酸系单体所形成的重复单元:式2其中,R1、R4和R5各自独立地为氢、碳原子数为1-10的烷基或环烷基、苯基、或羟基苯基,R2和R3各自独立地为氢或甲基,并且X为O或S,并且C为由能够进行自由基聚合的单体所形成的重复单元,所述能够进行自由基聚合的单体包括:被碳原子数为1-10的烷基或环烷基、苯基或苄基所取代的或未取代的(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸或(甲基)丙烯酰胺;N位被碳原子数为1-10的烷基或苯基所取代的或未取代的N-烷基(苯基)马来酰亚胺或N-(羟基)苯基马来酰亚胺;被碳原子数为1-6的烷基、乙烯基或乙酰氧基所取代的或未取代的苯乙烯或(甲基)丙烯腈;碳原子数为3-12的烷基乙烯基醚;或碳原子数为3-12的烷基乙烯基酯;或上述单体的混合物,其中,由上述式1表示的粘合剂树脂为重复单元无规排列的无规共聚物,并且作为各个重复单元之间的摩尔比,x为0.03-0.60,y为0.02-0.50以及z为0.05-0.70。
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