[发明专利]位移检测装置无效
| 申请号： | 200910132807.X | 申请日： | 2009-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN101561253A | 公开（公告）日： | 2009-10-21 |
| 发明（设计）人： | 田宫英明;谷口佳代子 | 申请（专利权）人： | 索尼株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B11/30 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 马高平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开一种位移检测装置，包括：非接触式传感器，该非接触式传感器具有光源、将来自所述光源的输出光聚焦到待测面上的物镜以及使用来自所述待测面的反射光基于所述物镜的焦距来检测位移信息的光接收元件；控制单元，该控制单元基于所述位移信息调节焦距；和位移量测量单元，该位移量测量单元具有经由连接构件附接到所述物镜的线性刻度尺，并在调节焦距时测量所述线性刻度尺的位移量。光调节构件设置在所述光源和所述物镜之间或所述物镜和所述光接收元件之间，并具有供输出光和/或反射光透过的开口部以及遮断输出光和/或反射光中特定光分量的遮光部。 | ||
| 搜索关键词： | 位移 检测 装置 | ||
【主权项】：
1、一种位移检测装置，包括：非接触式传感器，该非接触式传感器具有：光源；使从所述光源发出的输出光聚焦到待测面上的物镜；和光接收元件，该光接收元件通过所述物镜在所述待测面上聚焦后使用被所述待测面反射的反射光基于所述物镜的焦距来检测位移信息；控制单元，该控制单元基于由所述光接收元件检测到的所述位移信息来调节所述物镜的所述焦距；和位移量测量单元，该位移量测量单元具有经由连接构件附接到所述物镜的线性刻度尺，并配置为测量通过所述控制单元调节所述物镜的所述焦距时的所述线性刻度尺的位移量。其中，光调节构件至少设置在所述光源和所述物镜之间或所述物镜和所述光接收元件之间，并具有供所述输出光和/或所述反射光穿过的开口部以及遮断所述输出光和/或所述反射光中特定光分量的遮光部。
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