[发明专利]一种透明导电膜用ZD(H)O材料及其制备方法无效
申请号: | 200910133986.9 | 申请日: | 2009-04-22 |
公开(公告)号: | CN101870580A | 公开(公告)日: | 2010-10-27 |
发明(设计)人: | 孔伟华 | 申请(专利权)人: | 宜兴佰伦光电材料科技有限公司;孔伟华 |
主分类号: | C04B35/453 | 分类号: | C04B35/453;C04B35/622;C04B35/64 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 魏忠晖 |
地址: | 214263*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种透明导电膜用ZD(H)O材料。该透明导电膜用ZD(H)O材料以ZnO粉体为主料,搀杂Dy2O3粉体和/或Ho2O3粉体,组成原料粉体。ZnO粉体为75-98wt%,Dy2O3粉体与Ho2O3粉体的含量之和为2.0-25wt%。本发明的ZD(H)O材料的特点是磁控溅射制造的透明导电薄膜的电阻率可达到1×10-4Ω·cm,在750nm以下所有厚度的透明导电膜可见光透过率均可大于90%,性能稳定性良好。 | ||
搜索关键词: | 一种 透明 导电 zd 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种透明导电膜用ZD(H)O材料,其特征在于:以ZnO粉体为主料,搀杂Dy2O3粉体和/或Ho2O3粉体,组成原料粉体。
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