[发明专利]半导体装置及其制造方法无效
申请号: | 200910135466.1 | 申请日: | 2009-04-28 |
公开(公告)号: | CN101651138A | 公开(公告)日: | 2010-02-17 |
发明(设计)人: | 青野真司;守谷纯一 | 申请(专利权)人: | 三菱电机株式会社 |
主分类号: | H01L27/07 | 分类号: | H01L27/07;H01L29/423;H01L29/417;H01L21/8249;H01L21/28 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 闫小龙;王忠忠 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及半导体装置及其制造方法。p型区域(2,4)设置在第一n型区域(1)上。第二n型区域(3)通过p型区域(2,4)与第一n型区域(1)隔开,设置在p型区域(2,4)上。栅极电极(8)用于在第一和第二n型区域(1,3)之间形成n沟道。第一电极(6)与p型区域(4)和第二n型区域(3)的每一个电连接。第二电极(11)以通过第一n型区域(1)与p型区域(2)隔开、并且至少一部分与第一n型区域(1)相接的方式设置在第一n型区域(1)上。第二电极(11)由金属和合金的任一种构成,用于向第一n型区域(1)注入空穴。由此,能够提供栅极电极型的、通过简洁的结构能够抑制导通电阻的半导体装置、以及其制造方法。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种半导体装置,具备:第一n型区域;p型区域,设置在所述第一n型区域上;第二n型区域,通过所述p型区域与所述第一n型区域隔开,设置在所述p型区域上;栅极电极,隔着栅极绝缘膜设置在所述p型区域上,用于在所述第一和第二n型区域之间形成n沟道;第一电极,与所述p型区域和所述第二n型区域的每一个电连接;以及第二电极,以通过所述第一n型区域与所述p型区域隔开,并且至少一部分与所述第一n型区域相接的方式设置在所述第一n型区域上,由金属和合金的任何一种构成,用于对所述第一n型区域注入空穴。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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