[发明专利]密封剂配送器及其控制方法有效
| 申请号： | 200910137259.X | 申请日： | 2005-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN101551256A | 公开（公告）日： | 2009-10-07 |
| 发明（设计）人： | 安满镐;金埈煐 | 申请（专利权）人： | 塔工程有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/32 | 分类号： | G01D5/32;G01S17/08;B05B15/00;B05C21/00;G02F1/1339 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 吴贵明 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于密封剂配送器的传感器，包括：光发射部件，用于发射激光束；光接收部件，用于接收激光束；以及围起部件，支撑并围住光发射部件和光接收部件，所述光发射部件与光接收部件限定一个开口，激光束在由通过所述开口的中心轴线穿过的平面上被反射。其中密封剂配送器包括：其上安装有基板的工作台，喷嘴，与喷嘴相耦合的注射器。所述光发射部件与所述光接收部件安装在相对于注射器的下部的相对侧，用于测量基板的主平面与喷嘴的出口之间的垂直距离。 | ||
| 搜索关键词： | 密封剂 配送 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种传感器，包括：光发射部件，用于发射激光束；光接收部件，用于接收所述激光束；以及围起部件，支撑并围住所述光发射部件和所述光接收部件，其中所述光发射部件与所述光接收部件限定一个开口，所述激光束在由通过所述开口的中心轴线穿过的平面上被反射。
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