[发明专利]感应耦合等离子体处理装置

摘要

提供一种即使对于大型基板，也能够得到均匀的等离子体分布的感应耦合等离子体处理装置。在处理室4的上方隔着电介质壁2，具有高频天线13，其包括，在处理室4内，主要在外侧部分形成感应电场的外侧天线部13a、主要在内侧部分形成感应电场的内侧天线部13b、和在它们中间部分形成感应电场的中间天线部13c，在外侧天线部13a和中间天线部13c分别连接有控制感应耦合等离子体的等离子体密度分布的可变电容器21a、21c。各天线部，构成螺旋状的多重天线，而且，在其配置区域按照能够形成均匀电场的方式设定缠绕方法，按照在各天线部的配置区域间能够实现电场的均匀化的方式设定缠绕数目。

主权项

1.一种感应耦合等离子体处理装置，其特征在于，包括：收容被处理体实施等离子体处理的处理室；在所述处理室内载置被处理体的载置台；向所述处理室内供给处理气体的处理气体供给系统；对所述处理室内气体的排气系统；高频天线，其通过电介质部件配置在所述处理室的外部、具有通过供给高频电力在所述处理室内形成感应电场的设置为同心状的3个以上的天线部；和调节包括所述各天线部的天线电路中至少一个的阻抗，由此控制所述天线部的电流值的阻抗调节单元；所述各个天线部，构成多个天线电缆配置为螺旋状的多重天线，并且，在其配置区域按照形成均匀的电场的方式设定其缠绕方法，在各天线部的配置区域之间，以能够实现电场均匀化的方式设定其缠绕数目。