[发明专利]铜靶材表面的处理方法无效
| 申请号： | 200910139742.1 | 申请日： | 2009-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN101597727A | 公开（公告）日： | 2009-12-09 |
| 发明（设计）人： | 姚立军;潘杰;王学泽;俞柏森;鲍伟江;刘庆 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C22F1/08 | 分类号： | C22F1/08;C23C14/34;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李 丽 |
| 地址： | 315400浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种铜靶材表面的处理方法，包括：将铜靶材区分出溅射区和非溅射区；以及，用125号玻璃珠对非溅射区的表面进行喷丸处理，并且喷射弹丸方向与非溅射区的表面所成角度为45°的整数倍。其中，125号玻璃珠是指每平方英寸内含有125粒玻璃珠。本发明通过改变现有喷丸粗糙化处理中的弹丸型号及喷射角度，既没有增加工艺复杂度、难度，又可以高质量、高效率改善铜靶材表面的粗糙度。 | ||
| 搜索关键词： | 铜靶材 表面 处理 方法 | ||
【主权项】：
1.一种铜靶材表面的处理方法，其特征在于，包括：将铜靶材区分出溅射区和非溅射区；用125号玻璃珠对所述非溅射区的表面进行喷丸处理；其中，所述喷丸处理中，喷射弹丸方向与非溅射区的表面所成角度为45°的整数倍。
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