[发明专利]靶材与背板的焊接结构及方法无效
| 申请号： | 200910140417.7 | 申请日： | 2009-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN101648316A | 公开（公告）日： | 2010-02-17 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;周友平;刘庆 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B23K20/00 | 分类号： | B23K20/00;B23K20/02;B23K20/24 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李 丽 |
| 地址： | 315400浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种靶材与背板的焊接结构及方法。其中靶材与背板的焊接方法，包括：提供钛靶材和铝背板；对钛靶材和铝背板进行加工，在钛靶材焊接面加工成螺纹状；采用热压方法将钛靶材与铝背板进行焊接形成靶材组件；对靶材组件进行热扩散处理，然后空冷冷却。本发明对钛靶材进行机械加工形成螺纹状，能将其表面的氧化层撕裂，对铝背板进行机械加工能使其表面的氧化层变薄，进而使钛靶材和铝背板之间的结合强度提高。 | ||
| 搜索关键词： | 背板 焊接 结构 方法 | ||
【主权项】：
1.一种靶材与背板的焊接方法，其特征在于，包括：提供钛靶材和铝背板；对钛靶材和铝背板进行加工，在钛靶材焊接面加工成螺纹状；采用热压方法将钛靶材与铝背板进行焊接形成靶材组件；对靶材组件进行热扩散处理，然后空冷冷却。
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