[发明专利]靶材的制作方法有效
| 申请号： | 200910140622.3 | 申请日： | 2009-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN101569898A | 公开（公告）日： | 2009-11-04 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;陈勇军;刘庆 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B21C23/02 | 分类号： | B21C23/02;B21C23/04;B21C31/00;C22F1/04;C23C14/34;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 吴靖靓;李 丽 |
| 地址： | 315400浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种靶材的制作方法，包括：提供金属料件，所述金属料件为铝；对所述金属料件进行挤压成型，制作成靶材，其中，所述挤压成型的挤压温度为150℃～300℃，挤压比为4～4.5。所述靶材的制作方法通过控制挤压成型工艺的挤压温度和挤压比，很好地解决了靶材的成形尺寸精度的控制。 | ||
| 搜索关键词： | 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种靶材的制作方法，其特征在于，包括：提供金属料件，所述金属料件为铝；对所述金属料件进行挤压成型，制作成靶材，其中，所述挤压成型的挤压温度为150℃～300℃，挤压比为4～4.5。
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