[发明专利]应用于坩埚下降法单晶生产车间的有毒污染空气置换装置

摘要

本发明涉及一种应用于坩埚下降法单晶生产车间的有毒污染空气置换装置，属于单晶生长领域。坩埚下降法单晶生产车间存在有毒元素污染车间空气问题，本案旨在解决该问题。本案装置包括分别用于在车间的顶部及底部架设的配气仓及集气仓，配气仓底侧面板上分布有许多配气孔洞，配气仓的侧面或顶部装设有进风接口，集气仓上侧面板上分布有许多集气孔洞，集气仓的侧面或底部装设有排风接口，配气仓底侧面板与集气仓上侧面板相互平行、相互对映、结构位置一上一下面对面相互对峙，以及，通风机，该通风机的进风口与集气仓的排风接口联通。运行本案装置，能够在车间空气温场几乎不受扰动的情形下，对车间空气进行持续更新。

主权项

应用于坩埚下降法单晶生产车间的有毒污染空气置换装置，该装置的结构包括配气仓，该配气仓是用于均匀分配来自车间外部的新鲜空气的带有空腔的仓形物，该配气仓的底侧面板上均匀分布着许多孔洞，该配气仓的侧面或顶部装设有进风接口，以及，集气仓，该集气仓是用于均匀收集来自车间内部的有毒污染空气的带有空腔的仓形物，该集气仓的上侧面板上均匀分布着许多孔洞，该集气仓的侧面或底部装设有排风接口，配气仓的底侧面板与集气仓的上侧面板相互平行、相互对映、结构位置一上一下面对面相互对峙，以及，通风机，该通风机的进风口与所述集气仓的排风接口联通。