[发明专利]一种选择式射极太阳能电池的制造方法

摘要

本发明提出一种选择式射极太阳能电池的制造方法，包括以下步骤：步骤1：在P型导电基板上通过涂布含有N形杂质的浆料进行热扩散或直接通过气相扩散以形成N型扩散层；步骤2：在形成有N型扩散层的P型导电基板上形成图案状的电极；步骤3：在形成有电极的P型导电基板上植入P型杂质，使得在覆盖有电极的N型扩散层部分的N型扩散浓度高于没有覆盖电极的N型扩散层部分的N型扩散浓度。本发明在电极下方形成高浓度扩散层，有效降低接触电阻；其他透光区域形成较低浓度的扩散层，抑制表面再结合，从而提高太阳能电池的转换效率，还省略了氧化膜的生长及随后的清洗步骤，有利于降低生产成本。

主权项

一种选择式射极太阳能电池的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：在P型导电基板上通过涂布含有N形杂质的浆料进行热扩散或直接通过气相扩散以形成N型扩散层；步骤2：在形成有N型扩散层的P型导电基板上形成图案状的电极；步骤3：在形成有电极的P型导电基板上植入P型杂质，使得在覆盖有电极的N型扩散层部分的N型扩散浓度高于没有覆盖电极的N型扩散层部分的N型扩散浓度。