[发明专利]气体供给阀及部件输送装置

摘要

本发明的气体供给阀(10)设有导入气体的气体导入通道(11c)、该气体导入通道的导入开口(11e)向内部面对着的阀缸(12)、在该阀缸的内部具有可开闭上述导入开口地构成的闭塞部(15a)的阀体(15)、具有面对上述阀缸的内部的导出开口(12d)的气体导出通道(12c、11g)，及驱动上述阀体进行上述导入开口的开闭动作的压电执行机构(19)；其特征在于：至少在阀的开放时使上述导入开口与上述导出开口间的内部空间连通到外部的通气路径(12e、12f、11j)与上述气体导入通道和上述气体导出通道分别地设置。这样，能够实现气体供给阀的小型化，并减小气流喷吹开始和停止的延迟。

主权项

1.一种气体供给阀，设有导入气体的气体导入通道、该气体导入通道的导入开口向内部面对着的阀缸、阀体、具有面对所述阀缸的内部的导出开口的气体导出通道，及驱动所述阀体进行所述导入开口的开闭动作的压电执行机构；所述阀体在该阀缸的内部具有可开闭所述导入开口地构成的闭塞部，其特征在于：在阀的开放时使所述导入开口与所述导出开口间的内部空间连通到外部的通气路径与所述气体导入通道和所述气体导出通道分别地设置。