[发明专利]具有集成能量过滤器的带电粒子源

摘要

本发明的名称为具有集成能量过滤器的带电粒子源，描述发生能量选择的粒子源。能量选择通过偏心地发送带电粒子束穿过透镜发生。这样做的结果是，在透镜形成的图像中将发生能量色散。通过将此图像投射到能量选择光阑中的狭缝上，可以只让有限的能量谱部分中的粒子穿过。因此，穿过的束将具有减少的能量分散。偏转单元将束偏转到光轴。也可以选择偏转经过透镜中间去向光轴并且具有如更大电流的束。能量色散点由偏转器在狭缝上成像。在狭缝上定位能量色散点时，中央束偏离轴到被能量选择光阑阻止的程度。由此避免了在光阑后的区域由此束导致的反射和污染。此外，还避免了中央束的电子与偏转器区域中的能量过滤束交互作用所导致的电子-电子相互作用。

主权项

1.一种用于产生带电粒子束的带电粒子源，包括：·发射带电粒子的带电粒子发射表面；·用于形成带电粒子发射表面的图像的透镜，所述透镜显示有光轴；·用于限制所述束的限束光阑，其使用方式使得至少形成两个束，穿过所述透镜中间的中央束和偏心地穿过所述透镜的偏心束；·用于将其中一个所述束向轴偏转的第一偏转器；以及·能量选择光阑，显示有让部分所述偏心束穿过的能量选择孔以及让所述中央束穿过的中央孔，所述能量选择光阑位于所述粒子发射表面和所述偏转器之间；以及·将所述偏心束对准所述能量选择孔的第二偏转器。其特征在于·当使用第二偏转器聚焦所述偏心束并将其对准所述能量选择孔时，第二偏转器同时将所述中央束偏转，偏转程度使得所述中央束被能量选择光阑阻挡。