[发明专利]表面发射激光器元件、阵列、光学扫描装置和成像设备

摘要

本发明公开了一种表面发射激光器元件、表面发射激光器阵列、光学扫描装置和成像设备。在表面发射激光器元件中，在倾斜的衬底上，包括有源层的谐振器结构体和夹住谐振器结构体的下半导体DBR和上半导体DBR堆叠。在上半导体DBR的氧化物限制结构中的电流通过区域的形状关于穿过电流通过区域的中心并平行于X轴的轴对称，并且关于穿过电流通过区域中心并平行于Y轴的轴对称，并且围绕电流通过区域的氧化层的厚度在+Y轴方向比在+X和-X方向大。光输出部分在X轴方向的开口宽度小于光输出部分在Y轴方向的另一开口宽度。

主权项

1.一种表面发射激光器元件，包括：衬底，该衬底的主表面的法线方向相对于[100]晶体取向的一个方向朝[111]晶体取向的一个方向倾斜；谐振器结构体，该谐振器结构体包括有源层；第一和第二半导体分布布拉格反射器，所述第一和第二半导体分布布拉格反射器夹住所述谐振器结构体并包括限制结构，在该限制结构中电流通过区域由氧化层围绕；堆叠在所述衬底上的多个半导体层；和金属层，该金属层具有开口部分，所述开口部分成为在所述多个半导体层上的光输出部分，其中截面形状具有较长的长度方向的激光束经由所述氧化物限制结构输入到所述金属层；并且所述光输出部分在垂直于所述激光束的所述较长的长度方向的第一方向上的开口宽度小于所述光输出部分在平行于所述激光束的所述较长的长度方向的第二方向上的另一开口宽度。