[发明专利]准分子灯

摘要

提供一种准分子灯，具备由含有二氧化硅的微小粒子构成的紫外线反射层，即使长时间点灯，也可抑制照度下降的程度，有效地射出真空紫外光。一种准分子灯(10)，包括具有放电空间(S)的、由二氧化硅玻璃构成的放电容器(20)，以夹着形成该放电容器(20)的二氧化硅玻璃的状态设有一对电极(11、12)，并且在放电空间(S)内封入有放电用气体，在放电容器(20)的内表面形成有紫外线反射层(30)，所述准分子灯(10)的特征在于，紫外线反射层(30)由含有OH基的二氧化硅粒子和融点比二氧化硅高的微小粒子构成，构成紫外线反射层(30)的二氧化硅粒子中的OH基浓度是10wt ppm以上。

主权项

1.一种准分子灯，包括具有放电空间的且由二氧化硅玻璃构成的放电容器，以夹着形成该放电容器的二氧化硅玻璃的状态设有一对电极，并且在放电空间内封入有放电用气体，在上述放电容器的内表面形成有紫外线反射层，所述准分子灯的特征在于，上述紫外线反射层由含有OH基的二氧化硅粒子和融点比二氧化硅高的微小粒子构成，构成上述紫外线反射层的二氧化硅粒子中的OH基浓度是10wt ppm以上。