[发明专利]使用取代的酚稳定剂改良NBDE的加工稳定性有效
申请号: | 200910148844.X | 申请日: | 2009-05-27 |
公开(公告)号: | CN101591772A | 公开(公告)日: | 2009-12-02 |
发明(设计)人: | S·G·梅厄加;M·K·哈斯;M·L·奥尼尔;D·西纳托雷 | 申请(专利权)人: | 气体产品与化学公司 |
主分类号: | C23C16/30 | 分类号: | C23C16/30;C07C7/20 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 李 进;韦欣华 |
地址: | 美国宾夕*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明涉及使用取代的酚稳定剂改良NBDE的加工稳定性。一种稳定的环烯烃组合物,所述组合物包含一种或多种环烯烃,和至少一种具有式(I)的稳定剂化合物,式(I)R1,R2,R3,R4,R5(C6)OH,其中R1至R5可以各自独立是H,OH,C1-C8直链、支链或环状烷基,C1-C8直链、支链或环状烷氧基或者取代或未被取代的芳基,其中稳定剂化合物的量为200ppm以上-20,000ppm,具有低于265℃的沸点。一种用稳定的烯烃组合物和含硅化合物在衬底上形成掺碳氧化硅层的方法。 | ||
搜索关键词: | 使用 取代 稳定剂 改良 nbde 加工 稳定性 | ||
【主权项】:
1.一种稳定的环烯烃组合物,所述组合物包含:一种或多种环烯烃,和至少一种式(I)稳定剂化合物,式(I)R1,R2,R3,R4,R5(C6)OH其中R1至R5可以各自独立是H,OH,C1-C8直链、支链或环状烷基,C1-C8直链、支链或环状烷氧基或者取代或未被取代的芳基;且其中所述稳定剂化合物的量为200ppm以上-20,000ppm,其中所述稳定剂化合物具有低于265℃的沸点。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的