[发明专利]基板支撑、运送用托盘

摘要

本发明提供一种基板支撑、运送用托盘，该基板支撑、运送用的托盘被载置在配备于对基板进行加热处理的处理室的基板支撑部，特别是被载置在内置着基板加热用的加热构件的基板支撑部上，在上侧放置着基板，在对基板进行加热处理时，能够更均匀地加热基板，同时，在加热处理结束后，不必等到基板的温度降低，即可简单地从上述基板支撑部卸下，从进行加热处理的处理室运往他处。本发明的基板支撑、运送用托盘中，在上面侧具有圆盘状的基板支撑部，具有从该圆盘状的基板支撑部的周缘向下侧延伸的筒状侧壁部，和从该筒状侧壁部的下端侧在径向向外侧延伸的环状部。

主权项

1.一种对基板进行加热处理的装置，包括：处理室(11)，配置在该处理室内的基板支撑部件(2)，包括组成内部空间的顶棚壁和侧壁，在内部空间内提供对顶棚壁和侧壁进行加热的加热构件(4)；及基板托盘(8)可卸下地附于支撑构件，并且包括延伸出该基板支撑部件的顶棚壁的顶部(8e)，并且与该基板支撑部件的顶棚壁的外表面热耦合，并且侧壁部(9)沿着该基板支撑部件的侧壁向下延伸并与该基板支撑部件的侧壁的外表面热耦合，并且该侧壁部被热连接到顶部，并且侧壁部的外周缘被配置成通过传递机器人的叉机械地支撑。