[发明专利]手动开盖机构

摘要

本发明公开一种手动开盖机构，设置于一光罩台车的内部。手动开盖机构包括有操作杆、齿条及齿轮传动机构。操作杆用来传递一外力至齿条，操作杆的第一端露出于光罩设备之外，用来供操作员施加力量；操作杆的第二端连接至齿条。齿条用来传递外力至齿轮传动机构，以驱动齿轮传动机构。齿轮传动机构固定连接于光罩设备的上盖的下表面，用来抬起或放下光罩设备的上盖。本发明手动开盖机构通过齿轮与齿条的配合，仅利用一个人力就可以抬起光罩设备的上盖，因此本发明手动开盖机构具备省力、快速、耐用、易维修、不需耗费电气的优点。此外，通过设置制动器能够实现在任一角度固定上盖的功能，从而也能够自由调整上盖的开启角度。

主权项

1.一种手动开盖机构，设置于一光罩设备的内部，其特征在于：该手动开盖机构包括有一操作杆、一齿条及一齿轮传动机构，其中该操作杆用来传递一外力至该齿条，并能够使得该齿条来回移动；该操作杆的第一端露出于该光罩设备之外，用来供操作员施加力量；该操作杆的第二端连接至该齿条；该齿条用来传递该外力至该齿轮传动机构，以驱动该齿轮传动机构；该齿轮传动机构固定连接于该光罩设备的上盖的下表面，用来抬起或放下该光罩设备的上盖。