[发明专利]生产高纯颗粒硅的反应器和方法

摘要

本发明提供一种生产高纯颗粒硅的反应器和方法，该反应器包括：反应器腔体；反应器腔体上设置的固体加料口、辅助气体入口、原料气体入口和尾气出口；反应器腔体内部设置有气体分布器；反应器腔体设置有预热机构；反应器腔体外部设置有尾气处理机构，尾气处理机构连接预热机构与气体入口之间；反应器腔体连接表面整理机构；反应器腔体设有加热机构和动态发生机构。通过含硅气体在处于运动状态的密集的高纯粒状硅床层进行反应，并利用反应尾气的余热做预加热，本发明实现了超大型、高效、节能、连续、低成本生产高纯颗粒硅。

主权项

1、一种生产高纯颗粒硅的反应器，包括：反应器腔体；其特征在于，所述反应器腔体上设置有固体加料口、辅助气体入口、原料气体入口和尾气出口；所述反应器腔体内部设置有气体分布器，所述气体分布器用于使辅助气体和原料气体分散于所述反应器腔体中；所述反应器腔体设有内置或外置的预热机构；所述反应器腔体外部设置有尾气处理机构，连接在所述预热机构与所述辅助气体入口和原料气体入口之间；所述反应器腔体连接内置或外置的表面整理机构；所述表面整理机构用于对生产得到的高纯颗粒硅进行表面处理；所述反应器腔体设有内置或外置的加热机构和动态发生机构，所述动态发生机构用于使位于所述反应器腔体内的高纯粒状硅床层中的高纯粒状硅处于相对运动状态。